薄膜电阻器制造后的电阻不高,它们通常通过研磨或激光修整来修剪成准确的值。薄膜电阻通常规定为0.1,0.2,0.5或1%的公差,温度系数为5?25ppm/K。它们也具有低得多的噪声水平,比厚膜电阻低10-100倍的水平。
由于可以控制溅射的时间,因此可以准确地控制薄膜的厚度。材料有多种类型,包括一种或多种陶瓷(金属陶瓷)导体,例如氮化钽(TaN)、氧化钌(RuO2)、氧化铅(PbO)、钌酸铋(Bi2Ru2O7)、镍铬(NiCr)或铋酸铋(Bi2Ir2O7)。
薄膜与厚膜电阻器制造方法的区别薄膜电阻器通过将电阻材料溅射(真空沉积的方法)制成到绝缘基板上。然后与制造印刷电路板的减色方法类似的方式蚀刻薄膜;也就是说,表面被感光材料涂覆,然后被图案膜覆盖,用紫外线照射,然后曝光的感光涂层被显影,并将下面的薄膜蚀刻掉。
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