EBL微纳加工的关键技术有哪些？哪位大神能告诉我？-如意宝知识分享

MEMS微纳加工技术优势：用mems微纳加工工艺制造传感器、执行器或者微结构， EBL微纳加工具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等特点，产能高，良品率高。
典型的EBL微纳加工主要划分为：硅基微纳加工技术和非硅基微纳加工技术。 (1)硅基材料微纳加工技术：目前主要的体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺、正面体硅工艺、SOI(绝缘体上硅)工艺等。 (2)表面微纳加工技术
EBL微纳加工指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其zui主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。

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