EBL微纳加工的关键技术有哪些？哪位大神能告诉我？-如意宝知识分享

EBL微纳加工指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其zui主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。
典型的EBL微纳加工主要划分为：硅基微纳加工技术和非硅基微纳加工技术。 (1)硅基材料微纳加工技术：目前主要的体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺、正面体硅工艺、SOI(绝缘体上硅)工艺等。 (2)表面微纳加工技术
MEMS微纳加工技术优势：用mems微纳加工工艺制造传感器、执行器或者微结构， EBL微纳加工具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等特点，产能高，良品率高。

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哪位知道真空镀膜技术的功能有哪些？感谢回答

真空镀膜技术中常用的方法有真空蒸发和离子溅射.真空蒸发镀膜是在真空度不低于 10-2Pa的环境中,用电阻加热或电子束和激光轰击等方法把要蒸发的材料加热到一定温度,使材料中分子或原子的热振动能量超过表面.. 全文
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朋友们，什么叫真空镀膜？

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麻烦请教各位！真空镀膜工艺的优点有哪些？大侠们，求解

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