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网友们请赐教！微流控微纳加工是指什么？ 急需赐教

  • 微流控微纳加工是先进制造的重要组成部分，是衡量国家髙端制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极i端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障国i防安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。

  • 微流控微纳加工指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其zui主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。

  • 基于光刻工艺的微流控微纳加工主要包含以下过程：掩模（mask）制备、图形形成及转移（涂胶、曝光、显影）、薄膜沉积、刻蚀、外延生长、氧化和掺杂等。在基片表面涂覆一层某种光敏介质的薄膜（抗蚀胶），曝光系统把掩模板的图形投射在（抗蚀胶）薄膜上，光（光子）的曝光过程是通过光化学作用使抗蚀胶发生光化学作用，形成微细图形的潜像，再通过显影过程使剩余的抗蚀胶层转变成具有微细图形的窗口，后续基于抗蚀胶图案进行镀膜、刻蚀等可进一步制作所需微纳结构或器件。

主营业务：深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻

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