气流循环模式气流由风送入静压箱，通过高效过滤器进入洁净室，再从回风初效过滤器进入回风夹道，部分回风气流和从新风初效过滤器进来的新风通过中效过滤器进入风机室，另一部分回风气流直接进入空调的进风口，空气冷却后经导流罩和冷风管进入风机室。两部分流在风机室室混合后，通过风机箱上的中效过滤器由风机送入静压箱，再经高效过滤器进入洁净室构成气流循环系统。从气流的循环情况可知，实际上己形成了很好的三级过滤状态。因此，洁净室的空气质量得到了可*的保证。在此基础上调整高效过滤器送风口的结构和布局，配以相应的风量，就可确定洁净室的洁净形式和洁净度，以适应不同的需要。图1所示的洁净室，其两侧构成了局部100级的洁净空气主流区域，其余为万级洁净区域。

空调制冷迅速,节能显著通常,洁净室的温度调节都是由中央空调将空气冷却后再送到洁净室。种方法需要大量风管进行长距离送风，沿途阻力式损失和温度损失造成很大的能源损耗。此外，也有将空调机装在专用回风直管内，再由风机和风管将空气送到高效送风口的方法，这种方法虽然省去了中央空调，便是仍然需要专用的风机和风管，结构复杂，成本高，占用有限的空间，不便于维修和操作空调机，风机和风管所造成的能源损失也较大。本方案采用冷风管直接送风的方式，将空调机产生的冷风直接送到洁净空气主流区，冷风的行程和短，冷风量集中，不须专用管阀件，节约了投资，安装也更简单。更重要的是减少了这些管阀件的阻力损失和温度损失，达到提高效率节约能源的目的。

无主送风管和专用空调机房，降低投资气流在回风夹道和风机室内流动，空调机也装在回风夹道内，不需要专用空调机房，回风夹道除了安装空调外，同时也可作检修和工艺通道。空调机送风的特点是送风压力底，冷风由空调机送出直接进入风机室，除了冷风管自身的阻力外，没有其他阻力损失，特别是冷风管的出口端，风机箱形成了一定的真空度，更有助于冷风管克服送风阻力。由于冷风管所受压力很底，所以冷风管可选用质量较轻成本较底的薄型塑料或金属软管。整个空气循环系统除了少量起辅助作用的冷风管，其他主风管及管阀件者可省略。整个洁净室无主风管也无专用空调机房，气流通道借助洁净室墙壁和围护壁板构成。空调机价格便宜，运行可靠，安装方便，因此可以节省工程投资和缩短建设周期。