“1、AlGaN材料XRD即X-ray diffraction 的缩写，X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。 2、X射线是一种波长很短(约为20～0.06埃)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光i、气体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中,包含与靶中各种元素对应的具有特定波长的X射线，称为特征（或标识）X射线。 3、XRD的基本原理：X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射，主要有连续X射线和特征X射线两种。

AlGaN材料XRD原理,是Bragg方程,即nλ=2*d*sinθ,其中λ为入射线波长,d为晶面间距,θ为衍射角.换言之,XRD对于晶体结构的测试才是有效的.因为晶体都会存在其特有的结晶学特征,也就是空间点阵,14种Bravais格子代表了其晶格类型,晶面参数又限定了其结点间的相对数量关系.于是,参考Bragg方程,让X射线通过晶体,只要满足Bragg衍射条件,便能提供晶体内原子排布的信息.所以,不管是采用德拜照相法、衍射仪法等,都会在θ角观测到衍射.当然,也可以说XRD的基础是Laue衍射条件,但其实它和Bragg衍射条件本质是一致的,只是表达不同.

“AlGaN材料XRD可以从以下步骤简单分析： 1、定性分析（XRD的主要功能），通过八强峰匹配标准pdf卡片，得知样品是由哪些物质构成的。 2、通过看峰宽等来分析结晶度，峰越尖锐，结晶度越好。 3、看信噪比，信噪比越高，说明这张XRD图拍得越好，越精i确。 当然，还有许多信息，包括物质晶系、晶胞参数、各物质定量分析、等，但是那个不是简单分析了。