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关于刻蚀微纳加工技术工艺：光刻详解？ 有谁可以回答一下吗？

  • 刻蚀微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是衡量国家髙端制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极i端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障国i防安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。

  • 刻蚀微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其zui主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。

  • 刻蚀微纳加工技术MEMS微纳加工是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术，学科交叉现象极其明显，主要涉及微加工技术，机械学/固体声波理论，热流理论，电子学、材料、物理学、化学、生物学、医学等等。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。

主营业务：深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻

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