UV紫外线光解和等离子技术是现今应用于有机废气降解较常用的两种方法。采用这两种办法，都能将废气中的有机成份，分解为无害的水及二氧化碳，并预防了二次污染。但这两种方法，仍各有优缺点。UV光解是利用特殊的低压紫外灯管能同时发射出185nm紫外线和254nm紫外线的双光谱特性。灯管发射出的185nm紫外线，能触发空气中的O2（氧），转化为O3（臭氧）。臭氧具有很强的氧化能力，其与废气中的碳氢化合物（如苯类、烃类、醇类、脂类等）充分混合接触后，在灯管发射出的254nm紫外线的照射催化条件下，能将这些有害污染物，直接氧化分解为水和二氧化碳。由此可见，紫外灯管发射出的185nm紫外线，起到了提供氧化反应物的作用；而灯管发射出的254nm紫外线，起到了提供光解反应顺利进行的必要反应条件的作用。但紫外灯管的臭氧产生能力较低，如现在使用较为普遍的150W U形臭氧紫外线灯管，在氧气充足的条件下，每小时的臭氧产生量约为900mg左右，即其单位功率每小时的臭氧产生量仅为6mg/w。而臭氧作为光解反应中的一种主要的反应物质，其产生量的多少，直接影响着处理效果的好坏。

等离子技术，是利用高压的电场，使空气中的O2电离产生O3，其臭氧产生效率要比紫外灯管高很多。如佛山金好旺环保公司生产的60W石英真空等离子管，其每小时的臭氧产生量约为6000mg左右，即其单位功率每小时的臭氧产生量为100mg/w，是紫外灯管单位功率臭氧产生量的16倍。 但等离子管几乎不发射出紫外线。缺少了紫外线的催化作用，在单纯采用等离子工艺的废气处理装置中，臭氧与有机废气的反应变得迟缓困难，同样制约了设备的处理效能。

因此，我们尝试将这两种处理方案结合起来。将等离子装置布置在光解设备的前段，离子装置产生的O3与有机废气混合后，流经紫外线灯管。紫外线灯管能进一步地触发O3的生成，同时在灯管254nm紫外线的催化作用下，O3与有机物的反应效能大幅提升，从而取得理想的处理效果。由于等离子装置较紫外灯管高得多的臭氧产生效能，使得设备的功耗随之降低，节能效果显著。