阿尔卡特真空泵的噪音来源主要有三个方面:泵体、联轴器和电机。其中,泵体的噪声来源又有机械噪声和液(气)压噪声。
阿尔卡特真空泵噪音大是很多用户经常碰到的问题点,这主要是由于泵浦内部发生碰撞发生的,比如叶片与缸体碰撞,轴承位变形导致轴芯晃动,以及内部螺丝松动都会造成噪音大的问题。
从使用经验来看,阿尔卡特真空泵泵会出现振动和噪音问题,多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中,泵处于平静的状态,zui大振幅在0.1~0.001 μm(即100~1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。
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