光刻制作是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺在此之后,晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜内的孔或是残留的岛状部分。
光刻制作的加工特点:1、各向异性刻蚀,即只有垂直刻蚀,没有横向钻蚀。这样才能保证精i确地在被刻蚀的薄膜上复i制出与抗蚀剂上完全一致的几何图形。2、良好的刻蚀选择性,即对作为掩模的抗蚀剂和处于其下的另一层薄膜或材料的刻蚀速率都比被刻蚀薄膜的刻蚀速率小得多,以保证刻蚀过程中抗蚀剂掩蔽的有效性,不致发生因为过刻蚀而损坏薄膜下面的其他材料。3、加工批量大,控制容易,成本低,对环境污染少,适用于工业生产。
光刻制作工艺步骤:一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准 曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。工艺过程:一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准 曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
帮忙一下,真空镀膜技术的优点? 有谁可以回答一下吗?
真空镀膜技术适用范围: 1、建筑五金:卫浴五金、门锁、门拉手、卫浴、门锁、五金合叶、家具等。 2、制表业:可用于表壳、表带的镀膜、水晶制品。 3、其它小五金:皮革五金、不锈钢餐具、眼镜框、刀具、模具等.. 全文
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紫外光刻加工价格多少?拜托了帮个忙
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关于刻蚀微纳加工技术工艺:光刻详解? 有谁可以回答一下吗?
刻蚀微纳加工技术MEMS微纳加工是用传统的半导体工艺和材料,以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术,学科交叉现象极其明显,主要涉及微加工技术,机械学/固体声波理论,热流理论,电子学、材料、.. 全文
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