光刻芯片工艺是利用类似照相制版的原理,在半导体晶片表面的掩膜层上面刻蚀精细图形的表面加工技术。也就是使用可见光和紫外光线把电路图案投影“印刷”到覆有感光材料的硅晶片表面,再经过蚀刻工艺去除无用部分,所剩就是电路本身了。光刻工艺的流程中有制版、硅片氧化、涂胶、曝光、显影、腐蚀、去胶等。
光刻芯片的优点是它可以精i确地控制形成图形的形状、大小,此外它可以同时在整个芯片表面产生外形轮廓。不过,其主要缺点在于它必须在平面上使用,在不平的表面上它的效果要差一些。此外它还要求衬底具有极高的清洁条件。
光刻芯片工艺步骤:一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准 曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。工艺过程:一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准 曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
帮忙一下,光刻制作的分类?
光刻制作的加工特点:1、各向异性刻蚀,即只有垂直刻蚀,没有横向钻蚀。这样才能保证精i确地在被刻蚀的薄膜上复i制出与抗蚀剂上完全一致的几何图形。2、良好的刻蚀选择性,即对作为掩模的抗蚀剂和处于其下的另一.. 全文
敢问大家,MEMS光刻工艺是什么? 有懂行的吗?
MEMS光刻的优点是它可以精i确地控制形成图形的形状、大小,此外它可以同时在整个芯片表面产生外形轮廓。不过,其主要缺点在于它必须在平面上使用,在不平的表面上它的效果要差一些。此外它还要求衬底具有极高的.. 全文
紫外光刻加工价格多少? 想知道
感谢邀请回答,对于紫外光刻加工多少钱这个问题,我的回答是你可以先找几个厂家咨询一下紫外光刻加工要多少钱,通过多个厂家进行咨询来了解紫外光刻加工的大概价位,然后再挑选比较好的厂家进行合作,毕竟还是要看的.. 全文
请问:有了解LPCVD真空镀膜要多少钱的吗?
这个有很多品牌呀,不同的品牌有不同的价格,这要看你想要选择怎样的,你可以上网搜索了解一下不同LPCVD真空镀膜的品牌,然后看一下这些品牌在网上的评价怎样,然后就选出你觉得好的LPCVD真空镀膜就行了 全文
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