AlGaN材料XRD主要用于物相分析，另外结晶度，全谱拟合，晶粒大小，晶胞参数，应力应变等也可以用它来分析。

AlGaN材料XRD的操作步骤如下： 1.开实验室电源。 2.打开控制软件：打开桌面的“XG Operation” , 进入“XG control RINT2200 Target：Cu” 窗图。 3.测试样品放置： 压好样品后，把样品放入仪器前，一定要按仪器面板上的“DOOR OPEN”！直到听见断续的“哔、哔、…”蜂鸣声，才可以打开仪器的铁门放置样品，取出样品同样操作，否则，不然会伤害人体！且损害仪器。 4.仪器对样品测试： 打开右系统样品测试控制软件：进入Standard measurement[Right]窗口，注意此窗的Use列：Yes则用此行的测量条件，要求此列别的均为”No”；改好路径名（Folder name）以及文件名（File name）；双击Condition列对应行的数字格，则进入该行的测量条件选择，按需求设置好各参数后，点击键，进入执行测量。 5.关机过程：按要求关闭控制软件，过 10分钟后 才能关冷却循环水电源：按“停止”。

1、AlGaN材料XRD即X-ray diffraction 的缩写，X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。 2、X射线是一种波长很短(约为20～0.06埃)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光i、气体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中,包含与靶中各种元素对应的具有特定波长的X射线，称为特征（或标识）X射线。 3、XRD的基本原理：X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射，主要有连续X射线和特征X射线两种。