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CO2的流量控制器用来通Ar，显示的数值是真实流量吗？

  • 不是的，一般都是专气专属使用，用二氧化碳的流量控制器控制Ar，流量显示仪显示的数值肯定不是实际流量。

  • 不是实际流量，这种情况实际流量是可以根据气体转换系数计算出来的。

  • 通常状况下，订购流量控制器时定制的是控制哪种气体的，就应该只通该种气体，如果用来通其他气体，流量显示仪显示的数值肯定不是真实的流量值，不过实际使用当中，用户有可能使用的实际气体，不是当初购买时定制的气体。这时实际流量是需要我们进行一下换算的。生产流量控制器通常都是使用的氮气作为标定气体，订购的CO2气体，也是要先将CO2的流量换算成氮气流量来进行标定。如果用来控制Ar，则需要在将CO2气体换算成氮气的流量之后再转换成Ar的流量，公式是：流量显示仪显示的数值/CO2相对N2的气体转换系数*Ar相对N2的气体转换系数。举例：一台CO2的流量控制器，用来控制Ar ，流量显示仪显示流量为100SCCM，那么Ar的实际流量就=100SCCM/0.737（CO2相对N2的转换系数）*1.42（Ar相对N2的转换系数）=192.67SCCM

主营业务：动态稀释配气仪,膜透仪,智能气路系统,非标系统定制

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