特种气体高纯氮在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
特种气体使用工业氧代替用氧到底对人体有多大的危害,经过查找相关研究文献报道,没有临床病例的总结,也没有实验动物研究。只是全部人云亦云泛泛地讲到,工业氧压缩充装过程常常会有水分和其他杂质混合形成的呈酸性或碱性的润滑水混入并且残留在钢瓶中,随着时间的流失可能导致钢瓶内壁锈蚀,产生额外气体杂质。
特种气体而医氧就是供临床医使用的氧气,俗称干燥氧,主要用于预防和疗人缺氧,如呼吸肌麻、溺水、一化碳引起的克等症。医氧纯度高、无色、无味、无有害杂质,是一种特殊的流通商品。1988年,国家技术监督局就颁布了医氧气国家强制性标准。
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