工业氮气工业氧,字面解释就是用于工业生产及产品加工的氧气,质量要求较低,一般要求纯度在99%以上为合格。该行业执行的是国家推荐性标准,检测的指标只有氧含量和水分含量两项。所谓国家推荐性标准是相对国家强制性标准而言的,强制性标准是国家以行政命令和法律的规定要求相关部门和单位以至个人必须执行的;
工业氮气深冷法分离空气制得的用氧气,其组成除了氧气以外,还有水分、二氧化碳、一化碳、气态酸和碱、臭氧及其他气态氧化物等对人体有害的成分。如果对氧含量的规定低于99.5% ,则这些对人体有害成分的含量就会增加,从而会对人体健康造成危害。因此,对用深冷法分离空气制成的用氧气,其氧含量规定不能低于99. 5%。
工业氮气高纯氮在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
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