高纯氩气氩气的制取可以采用空气分离提取氩气,使用即将液化的空气进行精馏,得到粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩,高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。氩气对人的危害和处理方法,氩本身没有什么其他的作用,但在高浓度下有窒息作用。当空气中氩的浓度高于33%时,有窒息的危险。当氩浓度过75%时,可能在几分钟内。液态氩会损伤皮肤,眼睛接触会引起。
高纯氩气企业需要制定急性应急救援预案和密闭空间作业安全操作规程。作业人员进入有氩气存在的密闭空间,必须事先做好准备工作,需要对密闭空间进行有效通风,保证氧的空气含量达到18%-20%。作业人员必须进人有氩气存在的密闭空间开展应急处置工作时,需要配戴有效的防护用品。
高纯氩气乙炔瓶内装有溶剂,随着瓶内乙炔压力降低,乙炔从瓶内带出的溶剂逐渐增加。如果把乙炔用尽,则增大了溶剂的流失,就会给充装、运输、储存、使用带来危险。因为瓶内溶剂不足,安全空间增大,处于压缩状态的乙炔增多。乙炔的化学性质很不稳定,极易发生分解反应,稍微给予能量(如撞击或震动)就会引起分解,即使在没有氧气或空气等助燃气体的参与下,加压到0.2Mpa以上也会发生。
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