番禺石碁氩气当应用合理的安全性防范措施时,如缺氧气检测仪,氩气很有可能十分有效。在模具制造和焊接中作为维护气体以避免点燃,乃至可以用于救火。做为一种添加剂,氩可以用于替代包裝中的氧气,根据避免空气氧化和霉变来增加保存期。为了更好地避免钨丝空气氧化,乃至电灯泡中也充满了氩气。
番禺石碁氩气相同压力与输入功率下,越靠近腔体中心氯分子浓度越低,氯离子浓度越高,因为越靠近腔体中心电子密度与电子温度越高,氯分子游离率越高。当蚀刻制程中偏压功率开启时,氯原子及氯离子浓度会瞬间下降,氯分子浓度会上升,且随著越靠近晶圆表面处氯原子与氯离子浓度越低,越往腔壁处浓度越高,因为氯原子会与晶圆表面的硅产生化学反应产生SiClx,氯离子会溅击以及离子驱策蚀刻晶圆表面,导致氯原子及氯离子的消耗,使得浓度下降,当偏压关闭时,氯原子及氯离子浓度则会瞬间上升,氯分子浓度则会下降,另外由于氯离子Cl2+与Cl-会于靠近腔体表面处产生再结合的效应,所以蚀刻过后越靠近腔壁处氯分子与原子浓度会变的较高。
番禺石碁氩气利用氩气微型电浆系统分解气态二硫,将其转化为其它物质,再借由水洗塔或别的方式来减少二硫的大气排放量,以达到保护环境的作用。在实验过程中研究人员以光学光谱仪及各式气体分析仪检测氩气电浆、反应及生成气体。研究发现经过分解,二硫会分解为C*、C2*、CN*、CO*和CH*等激发物种。激发态物种离开处理系统后会再度结合,形成其他稳定的化合物或物种,而以固态颗粒和气态相两种形式存在。
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