真空泵是有目的性的抽真空，因此，有时候采用真空泵不可以考虑抽真空规定，必须几类泵组成起來，相互之间填补能够考虑抽真空规定。如钛升化泵对氢有很高的抽速，但不可以抽氦，而三孔型溅射正离子泵，(或二极型非对称加密阴极溅射正离子泵)对ya有必须的抽速，二者组成起來，便会使真空泵设备获得不错的真空值。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预填真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵在工作中运行时，提早将基座和避震脚固定不动地脚螺栓扭紧，尽可能放到自然通风清洁的地区，并且不碰触机器的一切元器件。进气过滤消音的清洗，过滤消声器过滤棉的清洗很重要，它直接影响了真空泵的流量和使用寿命。频率为一个月一次，在清理之前，先将消声器拧下，然后取出过滤棉，用水清冲洗干净之后，晾干在进行安装使用。如果过滤棉使用时间过久，已经无法清洗干净，就要更换过滤网。真空泵外壳的清除，在断开开关电源的状况下，用干躁绵软的毛巾清洗真空泵外壳的尘土污渍，一月少清除2到3次次。真空泵在长期不应用的状况下，要清除整洁后放到自然通风干躁的地区。

真空泵的维护需要做什么？1、应具备充足优良的自然通风标准及小于40℃的工作温度。2、无尘土及脏污的清理场地。3、不立即曝露在阳光里。4、有充足的周边室内空间能有利于真空泵的查验，维护保养和装拆。5、真空泵务必安裝在平整的平面图上。6、将泵放到相近混泥土硬实的路基上安裝，如果不是标准，也可将泵牢固地安裝在钢质或木质的声卡机架上。7、务必保证真空泵不会因不坚固而造成振动。8、接电缆线时，应留意电机铭牌上的要求布线规定。三相电泵要留意电动机转动方位应与泵上的标识箭头符号方位相同。