不能在前级泵工作时(前级管道接通) 和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。
选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
故障:极限真空度低 原因:前级泵不匹配,抽气量不足;系统漏气;泵体出气 排除方法:重新选配合适的前级泵查出并消除漏处 对泵体进行烘烤除气,烘烤温度不应高于150
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