洗净室、品质检查室净化级别为7 级,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+风机过滤器单元(FFU))的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风,房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%,洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求,需在循环机组(AHU)内增设化学过滤器。
5级净化间的气流流程为:新回风混合-化学过滤器(NH4+)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元(FFU)-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。
净化工程系统用的新风空调机组(MAU)和循环空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷冻水,加热采用0.2MPa蒸汽,加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿,洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。1 CP室净化级别为7级,换气次数取为30次/小时,CP室工艺设备用酸量较多,采用全新风空调机组(MAU-3)+过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。
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