采用硅合金浸渗反应烧结碳化硅含有一定量的游离硅，游离Si的熔点为1410℃，当使用温度超过1400℃，由于硅的熔化而使材料丧失了机械强度，因此使材料的高温使用受到了限制，许多学者致力于减少游离硅的含量，主要是利用高温下硅的蒸汽压比较高，使硅从烧结体中挥发出，一般反应烧结中的游离硅经过1600~1800℃的真空处理能够去除，但是zui终制品因热处理而多孔，使材料的强度和抗yang化性降低，另一种采用合金浸渗，主要是利用硅合金作为浸渗剂，硅合金中含可与硅形成高熔点化合物的元素，使用zui多的是Si-Mo合金。其它还有Si-Nb合金、Si-Ti合金、Si-Ta合金。

用硅钼合金作浸渗剂，对素坯进行反应渗透，可以获得含有MoSi2耐火相的复合材料，其中MoSi2的引入主要有三个作用；其一、它作为分散的帝尔相，热膨胀系数大于SiC的热膨胀系数，这样可以给制品一个预加的压应力，从而可以提高产品的机械性能，在常温下对材料起强化作用；其二，它在1000℃左右有一个脆性塑性转变，在很宽的温度范围内它作为塑性相存在，对材料的高温强度有利；其三，MoSi2的熔点很高，由于部分或完全取代了复合材料中的硅，这有助于提高材料耐高温性能。

通常，所采用的浸渗剂Si-Mo含Mo量2~8mo1%，反应的温度为1450~1650℃，反应浸渗过程中，合金中的硅与坯体中的碳反应生产碳化硅，该反应为放热反应，它放出的热量使熔体温度升高，同时由于合金中的硅的消耗，钼在熔体中富集，在硅钼合金的二元相图上，合金的状态点随反应浸渗的进行沿曲线移动，当它进入固相与合金液相的两相区时，固相开始从合金浸渗剂中分析出。